国投创业日前宣布领投气体传输设备创新企业深圳蓝动精密有限公司（以下简称“蓝动精密”），推动加快半导体设备关键零部件自主创新。

蓝动精密致力于为半导体行业提供具有自主知识产权的国产化关键零部件。公司在气体传输系统设备等关键领域实现技术突破，已拥有近30项专利，是少数在半导体领域实现批量供应质量流量控制器（MFC）、晶圆背气压力控制器（UPC）的国产供应商，产品性能对标国际一线半导体零部件厂商，为国内半导体设备供应链提供了有力的保障。

MFC广泛应用于半导体工艺，如物理气相沉积、化学气相沉积、原子层沉积、刻蚀、离子注入、外延、快速热处理等，用于快速精确控制上述过程中使用的气体流量。

UPC是半导体工艺设备的关键组件，主要用于晶圆背气压力控制，从而实现卡盘到晶圆的稳定热交换，使得晶圆在工艺过程中维持良好的温度均匀性及稳定性，涉及工艺主要为刻蚀、离子注入、薄膜沉积等。

在本轮投资的助力赋能下，蓝动精密将继续围绕“成为半导体精密部件平台公司”的目标，打造世界一流的集成电路装备研发中心、建立规模化先进工艺制造中心，迅速、高效的销售应用服务网络，推进公司半导体设备真空气路系统核心零部件国产化研发的进程，形成覆盖全链路的产品版图，加速发展成为集成电路产业未来新引擎。

近年来半导体设备核心精密零部件国产化快速发展，但可用于芯片先进制程工艺的高性能核心零部件（MFC、UPC及真空规等）国产化市场占有率不足5%，且该类产品已受美国技术封锁，是芯片制造国产化卡脖子技术之一，存在巨大的国产替代机会。蓝动精密瞄准这一市场机遇，深耕气体传输系统设备核心部件，推出平台化、系列化、高可靠性的产品，保障了下游设备厂、晶圆厂的扩产及工艺升级需求。通过本次投资蓝动精密，国投创业将半导体设备领域的布局进一步延伸，持续助力我国集成电路产业自主发展。