公司产品广泛应用于半导体、光伏、LED/LCD、先进工业镀膜等高端真空设备。经过多年研发积累和客户验证,公司射频电源产品已打破海外供应商垄断,成为目前唯一进入 IC 前道设备的国内射频电源供应商,掌握基于模型算法的全数字控制技术。公司创始及核心研发团队多来自美国AE、德国SOLAYER射频电源大厂,产业经验丰富。
公司先后承担了6项国家02专项课题,涉及从65纳米到7纳米多个工艺节点的介质刻蚀机开发及关键零部件的国产化,在2017年成为大陆唯一进入台积电7nm工艺设备采购名录的供应商。公司在拥有完整的自主知识产权基础上,面向晶圆制造、先进封装和 LED 芯片等先进制造的高端大规模市场,陆续推出了介质刻蚀机、双反应台刻蚀除胶一体机、硅通孔刻蚀机、MOCVD 等产品,率先实现了晶圆制造核心设备的国产化突破。