国投创业日前宣布领投国内半导体半导体液体流速流量控制器领军企业苏州清科珈合科技发展有限公司（简称清科珈合），加快半导体设备核心零部件自主创新。

清科珈合是国内唯一在半导体领域实现批量供应的液体流量计国产供应商，其产品性能可以对标美日，且产品体积更小、设计更符合本土设备厂要求，为国内半导体企业提供了更多国产替代的选择。

液体流速流量控制器是CMP抛光机、清洗机、涂胶显影设备液体管路系统等半导体设备的核心零部件，是高性能闭环流量控制器，可实现超纯化学品的高精度控制。

清科珈合团队深耕产业多年，攻克了材料加工、结构设计、算法等相关难题，重点突破PFA管路高温注塑成型工艺、超短距超声信号提取技术、小口径管路随机湍流速度分布建模等技术，搭建实时响应特性的高性能信号处理电路系统，形成了具有完全自主知识产权的国产高端液体流量控制器产品，已在多家半导体设备和晶圆制造企业实现批量化供应。

国投创业观点：流体管理系统零部件在半导体制造工艺中占有重要地位，贯穿半导体前道工艺的大部分环节，流体的精准测量和控制直接影响生产制造结果。目前半导体液路及气路流量计国产化率处于较低水平，尤其是液体流量计，基本采购自日、美、韩。清科珈合基于超声波液体流量计产品自主创新，不断拓展产品系列，致力于打造半导体流体测量控制平台，有力地加快了半导体设备国产替代进程。