国投创业日前宣布领投高端分子泵企业合肥昱驰真空技术有限公司（以下简称“昱驰真空”），支持先进工艺装备制造国产化，进一步完整半导体设备核心零部件投资布局。

昱驰真空磁悬浮分子泵（部分型号）

分子泵是工业生产获取真空的核心零部件，广泛应用于半导体、光学镀膜、真空玻璃、锂电、光伏、面板等多种高端制造中。随着工业领域改造升级、光伏降本和新工艺路线出现、锂电复合集流体技术的要求，作为设备核心零部件的分子泵面临快速迭代增长的市场机会。

昱驰真空主要产品为磁悬浮分子泵和机械轴承分子泵，公司团队专注于分子泵领域已有二十余年，曾承担国家科技部重大仪器仪表专项，并持续以产学研融合为牵引，创新研制具有自主知识产权的超高真空大抽速磁悬浮复合分子泵，实现了磁悬浮超高真空分子泵产品的产业化生产，推动我国半导体、新能源、新材料等领域高端分子泵国产替代。

昱驰真空是目前国内已进入集成电路关键制造设备——离子注入机供应链的磁悬浮分子泵生产企业，具有从理论设计验证到机加生产和装配测试的全流程生产能力。

昱驰真空合肥总部总装研发测试中心

在本轮投资的赋能下，昱驰真空将进一步实现磁悬浮分子泵及真空装备的产业化和市场开拓，凭借产品大口径、高抽速、高稳定性的优势，加快半导体产业链所需的分子泵设备生产。同时保持公司产品在高端光学设备领域的领先性，积极拓展光伏和锂电等行业领域。

国投创业认为，昱驰真空是国投创业在半导体设备核心零部件赛道的重要投资布局。真空环境在现代工业高端制造中必不可缺，昱驰真空在研发、产业化工程研究及实施方面具有丰富经验，凭借在真空领域多年深入耕耘，补强了国产真空零部件领域的研发生产空白。