2023年5月19日，半导体量检测设备龙头企业深圳中科飞测科技股份有限公司（股票简称：中科飞测，股票代码：688361）在上交所科创板挂牌上市。

中科飞测是国投创业在集成电路设备领域投资布局的重要企业，也是国家科技重大专项02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重点支持的半导体设备企业。自2017年起，国投创业连续重磅领投中科飞测，助力企业推进产品研发、客户验证和市场拓展，为我国晶圆制造线国产化贡献力量。

2014年底，陈鲁博士在中科院微电子所的支持下，凭借在光学检测技术、大数据检测算法和自动化控制软件等领域的深耕积累和技术专利，成立中科飞测，专注于研发和生产检测和量测两大类集成电路专用设备。公司立足自主创新和自主研发，先后承担多项国家科技重大专项课题，以及多个国家级、省级重点研发计划，助力国内集成电路量检测设备领域关键产品和技术攻关与突破。通过多年积累，中科飞测已成为国产晶圆制造核心设备链条上的关键一环，国内集成电路质量控制装备的领军企业，产品已应用于国内 28nm 及以上制程的集成电路制造产线。

中科飞测半导体量检测设备

目前，中科飞测量检测设备产品已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线，对集成电路生产过程可进行全面质量控制和工艺检测，助推客户提升工艺技术，提高良品率，实现降本增效，打破了在质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断局面。

国家科技重大专项02专项将半导体制造装备攻关列为重点支持方向。国投创业团队沿着02专项成果，在光刻、化学气相沉积、刻蚀和化学机械抛光四大核心设备，以及量检测、测试设备领域进行了重点布局，同时拓展半导体关键零部件等细分领域，陆续投资中微公司、华海清科、拓荆科技、芯碁微装、悦芯科技、富创精密、启尔机电、恒运昌等一批半导体行业自主创新领军企业，围绕产业链上下游持续赋能，导入资源，协同整合，助力我国半导体设备关键核心技术实现自主可控。