2022年10月10日，半导体设备零部件龙头企业沈阳富创精密设备股份有限公司（股票简称“富创精密”，股票代码：688409）正式在上交所科创板挂牌上市。

富创精密是国投创业在半导体设备行业重点布局的企业。2017年国投创业领投富创精密，有效支持其成长为国内半导体设备精密部件领军企业。目前，富创精密是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。

富创精密专注于金属材料部件精密制造技术，公司于2011年、2014年相继牵头承担了国家02重大专项两期项目课题，实现了半导体设备精密部件国产化的自主可控，形成了国产半导体设备的保障能力，掌握了可满足严苛标准的精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接、组装、检测等多种制造工艺，建立了一系列制造标准流程和质量管理体系，产品的高精密、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压等性能已获得行业龙头半导体设备厂商认证。

富创精密发展历程

目前富创精密产品主要应用于半导体设备领域，覆盖集成电路制造中刻蚀、薄膜沉积、光刻及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节设备，产品已进入包括中微公司、拓荆科技、华海清科、芯源微、北方华创、屹唐股份、中科信装备、凯世通等主流国产半导体设备厂商，保障了我国半导体产业供应链安全。

富创精密半导体设备精密零部件生产车间

国投创业秉持“服务国家创新战略、聚焦科技成果转化”初心，聚焦国家重大战略产品和重大产业化目标，在集成电路产业链多点投资。尤其在半导体设备领域，国投创业依托国家科技重大专项，重点布局化学气相沉积、光刻、刻蚀和化学机械抛光四大核心设备，以及检测、测试等一系列辅助设备，同时大力投资支持半导体关键零部件相关企业，挖掘并培育一批半导体设备行业自主创新领军企业。国投创业以市场化方式促进科技成果转化，支持半导体设备创新和国产替代，并推动上下游企业开展多层面协作，有效发挥资本纽带和产业聚合效应，致力于打造半导体全产业链生态，为提升行业整体竞争力发挥积极作用。