2022年8月17日,国投创业投资企业深圳市路维光电股份有限公司(股票简称“路维光电”,股票代码:688401)正式在上交所科创板挂牌上市。路维光电是国内领先的掩膜版生产企业,立足于平板显示掩膜版和半导体掩膜版两大核心产品线,已形成“以屏带芯”的发展格局。国投创业于2019年投资路维光电,支持企业推进建设超高世代(G11)掩膜版生产线项目,补齐国内平板显示自主可控供应链短板,积极推进平板显示和集成电路关键材料的国产化进程。
掩膜版是含有电子线路显微图像的精密玻璃基板,是平板显示、集成电路等行业电子辅助设计转化为工业化流程制造的核心环节,为平板显示(LCD/OLED)、半导体、高端IC封装等微电子制造过程提供了必不可少的图形转移母版,直接决定了下游产品的精度和质量。
路维光电成立25年来,一直致力于掩膜版的研发、生产和销售,经过多年技术积累和自主创新,公司已形成一套较为完整全面的核心技术体系,包括G11及以下TFT(a-Si)掩膜版制造技术、G11及以下平板显示用多灰阶(Multi-tone)掩膜版制造技术、G6及以下AMOLED掩膜版制造技术、150nm节点半导体掩膜版制造技术和掩膜版光阻涂布技术等一系列产品制造技术和核心工艺技术。
路维光电在 G11超高世代掩膜版、高世代高精度半色调掩膜版和光阻涂布等产品和技术方面,打破了国外厂商的长期垄断,成为国内首家、全球第四家掌握G11掩膜版生产制造技术的企业,对于推动我国平板显示行业和半导体行业关键材料的国产化进程、逐步实现进口替代具有重要意义。
图:2019年1月路维光电中国首条G11代掩膜版产品下线
路维光电多次承担国家部委及省市政府部门的重大科研项目,其中“成都路维高世代光掩膜版产线建设项目”
纳入 2017年电子信息产业技术改造专项。公司的G11掩膜版产品荣获中国新型显示行业产业链“2019年突出贡献奖”,半色调掩膜版产品荣获“2020年发展贡献奖之创新突破奖”。2020年3月,公司被认定为广东省超高精度激光加工掩膜版工程技术研究中心。