国投创业近日完成对国内射频电源领先企业深圳市恒运昌真空技术有限公司（简称“恒运昌”）投资，支持企业新产品研发及市场拓展，助力半导体设备核心子系统国产化。

我国半导体设备供需不匹配情况较为严重，国内集成电路设备自给率仅有5%。国内半导体设备自给率低，其根源还在于关键零部件、子系统依赖进口。半导体设备子系统相较于设备整机而言，是典型的以小制大的“卡脖子”环节。

射频电源和匹配器是等离子体增强化学气相沉积设备、原子层沉积设备、物理气相沉积设备、反应离子蚀刻机、离子注入设备等高端集成电路制造设备的工艺电源，是设备的关键子系统。射频电源和匹配器性能直接影响设备核心指标，在整机成本占比约20%。目前，半导体、泛半导体设备用射频电源几乎被美日和欧洲供应商垄断，国产化需求迫切。

图1：射频电源在泛半导体设备行业广泛应用

恒运昌成立于2013年，专业从事等离子体射频电源系统的研发、生产、销售以及维护，产品广泛应用于半导体、光伏、LED/LCD、先进工业镀膜等高端真空设备。公司核心团队深耕射频电源领域多年，突破多项国内现有技术，掌握全数字测量系统、全数字环路控制技术、高效宽带平衡功放技术等核心技术。经过多年研发积累和客户验证，深圳恒运昌已经打破海外供应商垄断，成为率先进入IC前道设备的国内射频电源供应商。

图2：恒运昌自主研制的射频电源系统性能达到国际主流水平

过去几年，国投创业已在半导体设计、生产、设备、材料等领域进行了全面布局。在设备领域，重点投资布局化学气相沉积、光刻、刻蚀和化学机械抛光四大核心设备，以及检测、测试等一系列辅助设备，拓展关键零部件等细分领域，挖掘并培育一批行业自主创新领军企业。

恒运昌是国投创业在半导体设备零部件领域投资的重要布局。未来国投创业将依托专业投资管理能力和半导体全产业链资源优势，支持恒运昌成长为半导体设备电源行业的领军企业，形成射频电源本地化稳定供应能力，保障国内半导体设备和集成电路制造企业供应链安全。